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 净化车间的温湿度主要是根据您的加工工艺要求来确立，在考虑到加工工艺的规范下，甄选理应充分考虑cider)人的舒适感。随着着汽体洁净室等级要求的提高，加工工艺对温湿度的要求也越来越高，净化车间尽量-一定的温湿度级別。 例如在规模化集成电路芯片芯片生产生产制造(produce)的光刻技术-exure)加工工艺中，作为掩膜板原料的夹丝玻璃与硅(silicon)片的热形变(inflate)指数值的差要求越来越小。

压力差下从间隙漏泄掉的风量。因此压力差的物理意义便是漏泄或渗入osmosis)风量根据净化室的各种各样间隙时的摩擦阻力。

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